LTPS制程設備中，提升良率的重要關鍵為減少發塵量，即控制Particle產生的數量，目前常用的方式為人員攜帶Particle counter針對所需要的區域進行量測，此方式常需要耗費相當的時間與人力，且在stocker區域，2米以上的空間對量測人員而言，有位置及高度的危險限制，因此，盟立推出可無線監控，隨者設備移動的落塵量測設備，無線監控落塵量測系統(PMS-Particle Measuring Systems簡稱PMS)，PMS特點為Cassette外型，可隨者設備移動至任何需要量測的地點， PMS除可量測Particle數據外，也同時搭配振動量測的加速規與風速計、溫濕度計等數據計器，由于Particle counter置于等同cassette大小尺寸的框體，可延伸量測cassette多點位置，藉由得知放置于cassette內的玻璃，各個位置點的落塵數值，PMS嵌入式系統負責訊號收集，并響應 Client 端的要求實時回傳數據，獲得的數據數據，可轉換成圖形分析，在各設備間的落塵收集、分析、大數據等用途上，PMS提供更便捷、及時、完整數據的解決方案。