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產品信息
2016.11.07

OHS-自由換軌的轉向機構

盟立為六代LTPS制程開發OHS車輛搬運系統(Over Head System)，以驗證Class 10 0.1um潔凈度需求設置。

OHS 為Stocker外圍整合的重要角色，主要負責每一座Stocker制程與成品的運送與管理，其運送物為玻璃卡匣(Cassette)，在Stocker之間運送全由高架組成，節省AMHS 占用空間、降低AMHS 建置成本、提高搬運可靠度及縮短產品產出時間，實現Class 10 0.1um潔凈度控制。
 
本設備主(zhu)要配置為OHS 車(che)體(ti)、轉(zhuan)向(xiang)機構(gou)(gou)(gou)及軌道系統，OHS車(che)輛搬運系統主(zhu)要為車(che)體(ti)結構(gou)(gou)(gou)及2組可(ke)回轉(zhuan)的(de)轉(zhuan)向(xiang)車(che)架，在分(fen)歧(qi)(qi)(qi)處(chu)以轉(zhuan)向(xiang)機構(gou)(gou)(gou)夾持軌道，以達成分(fen)歧(qi)(qi)(qi)過(guo)(guo)彎的(de)功能(neng)，并(bing)且能(neng)避免產(chan)生灰塵，以達到潔凈度的(de)要求。該(gai)轉(zhuan)向(xiang)機構(gou)(gou)(gou)可(ke)決(jue)定車(che)輛直行或(huo)在分(fen)歧(qi)(qi)(qi)處(chu)轉(zhuan)彎，使長程運送的(de)過(guo)(guo)程中，車(che)輛可(ke)以選擇分(fen)岐(qi)處(chu)作(zuo)為折返的(de)功能(neng)，大幅(fu)縮減車(che)輛循環運行所需的(de)時間，并(bing)提高稼(jia)動率。
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