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產品信息
2017.06.06

潔凈無塵室STOCKER-雙牙叉(Twin Fork)技術

低溫多晶硅(LTPS)是新一代薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)的制程,隨著國際手機大廠大量運用在智能型手機制程,持續在挑戰制程良率,并且不斷的突破技術瓶頸下,已有長足的進步,隨之而來的設備需求也逐年上升,為迎合LTPS市場快速成長的需求,盟立提供高客制化,彈性的搬運儲存設備,并開發BEOL制程切割后成品運送的雙牙叉(Twin Fork)機械手臂,并搭載于STOCKER儲存設備。

雙牙叉手臂之特點可在同儲位取放兩座卡匣,且可依制程需求先后取放卡匣,節省兩個卡匣個別搬運的時間,大幅提升稼動率,在產品儲量需求大的場合,也可運用在Dual Crane Stocker,單線Stocker系統并用4組牙叉(SCARA FORK),對于產品運用及周轉,提供相當靈活的技術。

如何提升并改善生產LTPS面板產品的良率,是現階段的競爭重點,其中,如何提供高潔凈度的生產、搬送及儲存環境,扮演著影響良率高低的關鍵角色。

由于LTPS要求的生產技術相較于一般制程,對無塵要求更為嚴苛,面板制程也較為復雜;盟立已完成了Class10 @0.1um動態Particle測試驗證,目前在臺灣及大陸均已有多座實績,隨著高分辨率智能型手機的盛行,以及智能型手機屏幕平均尺寸的持續增長,LTPS面板需求將持續走高,盟立本著搬運設備朝向高智能,靈活彈性的客制需求,為面板制程良率提升貢獻一己之力。
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