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產品信息
2016.05.24

晶圓盒機器人智能傳送系統

在(zai)半導體廠內,晶圓多是置(zhi)于(yu)晶圓盒內,在(zai)各廠區及各制(zhi)程(cheng)設備間傳(chuan)送。以人(ren)力傳(chuan)送方式多存在(zai)不可控制(zhi)的風險,因(yin)此(ci)搭配(pei)穩(wen)定成熟(shu)的機器(qi)手臂傳(chuan)送系(xi)統取代(dai)傳(chuan)統的人(ren)工傳(chuan)送方式已成趨勢。
 
盟立自(zi)動化累積逾多年的機器(qi)手臂應用及系統整合經驗,能依照廠地空間、作業模(mo)式、系統功能、產能速度等(deng)需(xu)求(qiu)條件,為客戶建置(zhi)符合安(an)全、潔凈、精準、高效率(lv)且具備智能化的傳(chuan)送系統。

以下為實績范例特點介紹 :
  1. 跨樓層傳送整合,客制化設計,包含Lifter、ROBOT的制程鏈接整合傳送系統。
  2. 上下樓層各設置ROBOT,搭載盟立設計的專用夾持機構,能非常穩定的進行晶圓盒的取放作業。
  3. 具傳送過程確保潔凈度之對策。
  4. 系統判讀Bar code確保正確地傳送。
  5. 遠程監視功能可實時掌握設備異常狀態,縮短排除異常的時間。
  6. 自動/手動運轉及自動/人工投料等多重模式可供選擇切換。
  7. 全方位安全裝置,確保人員、對象、設備安全。
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