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產品信息
2022.12.07

ZIP STK 半導體光罩儲存新應用


盟立(集團)近年來年持續耕耘半導體產業,因應產線制程多變及場地條件限制等市場需求開發出ZIP STK儲存設備,并成功導入至半導體封測大廠,可有效運用廠房內的畸零空間,增加單位面積的儲存坪效;并且可依照客戶制程需求儲存Foup/ Fosb/Tray等各式載具,提供晶圓制造廠客戶客制化解決方案。
隨著半導體朝微小化進展加上持續推進摩爾定律,現都采用先進曝光制程,隨著曝光層數越來越多,每增加一層就需增加多個光罩。其中光罩的存放條件,直接影響到生產的良率,且無塵室環境坪效亦影響到晶圓代工廠的成本及效益,在此背景之下為解決客戶端儲存光罩問題。盟立于2021年開發出ZIP STK存放光罩盒之新應用。

設計特點:
  1. 符合SEMI S2規范。
  2. 透過關鍵零組件及材質選用、設計公差與精密加工等來確保組裝精度,并且藉此提升STK主機Z軸的作業高度,以增加垂直方向的儲位數。
  3. 取放精度 ≤ 0.5mm;震動值 ≤ 0.3G,確保光罩盒在搬送過程中避免因晃動造成光罩的損壞。
  4. 主機設計上利用旋轉升降設計采用環形儲位增加儲存坪效。尺寸2700mm*2400mm,可有效使用廠內畸零空間;隨著產能需求增加,盟立ZIP STK設備可模塊化串接,彈性擴充儲存數量。或可建置于曝光設備旁;依IC設計廠客戶下單方式專線使用,便于晶圓制造廠管理。
  5. 善用盟立系統整合能力設計,可自動串接OHT、AGV等各種AMHS設備,并實時上傳帳料信息,降低人員操作失誤;同時透過自動化設備搬送,可提高生產設備稼動率并確保產品質量。
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