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EFEM 高速晶圓/載板傳送設備

EFEM(Equipment Front End Module)為半導體 Loader/Unloader ，可為不同晶圓尺寸提供設備前端上/下料之自動化模塊。盟立EFEM可以完全滿足客戶制程機臺需求與限制，開發出適用于任何半導體制程設備之自動化需求。從前端機器人之選用, EFEM與主機臺物流方式, SECS/GEM與上位系統的溝通與BC(Block Control)整合，盟立擁有經驗極豐富的工程人員，可大幅降低客戶導入EFEM風險及導入時間。
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