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CIM-PC 制程設備生產自動化

CIM PC Control System(CPC)為管理單一臺或聯機(Cluster)的制程設備,為客戶特定的生產作業與需求,依制程設備的特性,建立自動化的控制系統,并俱信息交換接口與上位系統(MES)進行生產信息的交換作業,使生產作業得以自動化, 也稱EAP。

基本的系統架構與組成,包含有制程模塊、物料搬運模塊、載具模塊及CPC等單元。其架構及功能特性與BC大多相同,而最大的差別為控制的制程設備模塊數量較少及可提供較多樣的客制化功能。

系統面
  • 系統符合SEMI E30、E32、E38的規范要求。
  • 上位系統接口:可與任何MES介接,接口支持IBM MQ、Tibco RV、HSMS…等多種通訊接口,進行上下游數據的交換整合。
  • 可連接多種數據庫如Oracle、DB2、SQL Server等。

功能面
  • 將上位系統的生產信息下達給制程設備,使其依命令進行生產作業。
  • 生產Recipe 的管理,如對Recipe Body檢查,與變更回報數據…等。
  • 生產作業的信息與條件實時搜集并回報上位系統。
  • 設備端的接口訊號變化記錄,具備系統歷史狀態回溯查詢功能,以了解某一時間點內作發生的問題及相關的原因判斷,藉以改善人員作業模式及處理流程的改善依據。
  • WIP的數據管理與回報
  • 載具數據的管理、維護與記錄。
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